Objectius de pulverització catòdica de coure d'alta puresa: quadrats (4N-6N)
Objectiu de pulverització catòdica de coure d'alta puresa: declaració de procés i garantia de qualitat
Les nostres dianes quadrades de polvorització de coure es fabriquen segons els estàndards exigents requerits per a la deposició fiable de pel·lícules primes en processos de recobriment avançats.
La producció segueix un flux de treball basat en el buit estrictament controlat per mantenir una puresa ultraalta i una consistència del material:
● Selecció de matèries primeres: Només s'utilitzen càtodes de coure electrolític certificats (≥99,99%) com a material de partida.
●Fusió al buit: la fusió per inducció sota alt buit o atmosfera inert minimitza l'absorció d'oxigen i les impureses volàtils.
●Fosa i refinació: la solidificació direccional controlada produeix lingots amb una composició homogènia i una segregació mínima.
● Treball en calent: la forja o premsat en calent aconsegueix una densitat gairebé teòrica i una estructura de gra refinada.
● Mecanitzat de precisió: el fresat i el rectificat CNC produeixen dimensions quadrades precises amb superfícies planes i paral·leles.
● Acabat superficial: el polit en diversos passos ofereix un acabat semblant a un mirall adequat per a ús en sales blanques.
●Unió opcional: Unió d'indi o elastòmer a plaques de suport de molibdè/coure disponible per a la gestió tèrmica.
●Neteja i embalatge finals: Neteja per ultrasons en aigua ultrapura, seguida de segellat al buit en bosses netes de doble capa.
Sistema de control de qualitat
● Traçabilitat completa des del lot de càtode cru fins a l'objectiu acabat
● Certificats de materials i informes de proves subministrats amb cada enviament
● Retenció de mostres d'arxiu ≥3 anys per a la verificació de tercers (SGS, BV, etc.)
● Inspecció del 100% dels paràmetres crítics:
• Puresa i impureses (anàlisi GDMS/ICP-MS; oxigen típic <10 ppm)
• Mesura de densitat (mètode d'Arquimedes; ≥99,5%)
• Mida del gra i microestructura (examen metal·logràfic)
• Precisió dimensional (CMM; planitud ≤0,05 mm típica)
• Rugositat i defectes superficials (perfilòmetre + inspecció visual)
● Les especificacions internes superen els requisits de la norma ASTM F68. Propietats típiques: Conductivitat tèrmica >390 W/m·K, Resistivitat elèctrica <1,7 μΩ·cm, Velocitat de pulverització catòdica i qualitat de la pel·lícula consistents.
● Els processos compatibles amb sales blanques i les instal·lacions certificades per ISO 9001:2015 garanteixen que cada objectiu compleixi les exigents necessitats de les aplicacions PVD modernes.










